氦氣，是一種稀有氣體，化學(xué)式為He，在常溫下，它是一種極輕的無色、無臭、無味的單原子氣體。氦氣是所有氣體中最難液化的，是唯一不能在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下固化的物質(zhì)。氦的化學(xué)性質(zhì)非常不活潑，一般狀態(tài)下很難和其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。因現(xiàn)在氦氣在各行業(yè)中的廣泛使用，使用量也越來越大，為降低工業(yè)生產(chǎn)成本，節(jié)約能源，將使用過的氦氣回收，再次或多次使用，提高氦氣的使用率勢(shì)在必行。
對(duì)于上述提及的隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大，氦氣的使用量在逐漸遞增，而直接排放的方式也不再適應(yīng)于降本增效的生產(chǎn)要求，因此需要對(duì)氦氣進(jìn)行回收，現(xiàn)有回收方式主要通過在冷卻管的下端吹氮?dú)獾刃纬蓺夥鈱樱员阕柚构饫w帶動(dòng)氦氣繼續(xù)向下流動(dòng)，將氦氣集中到氣封層的上方以便對(duì)其抽氣回收，而為了保證對(duì)氦氣全面的回收且減少氮?dú)獾刃纬蓺夥鈱託怏w的浪費(fèi)，通常需要調(diào)節(jié)控制氮?dú)獾刃纬蓺夥鈱拥牧髁看笮〖昂饣厥盏牧髁看笮。绾握{(diào)節(jié)控制兩個(gè)氣體流量的大小成了目前急需解決的技術(shù)問題。
因此控制氣體的流量與大小，在節(jié)能減排、控制成本方面也有重大意義。熱式質(zhì)量氣體式流量計(jì)可以直接對(duì)質(zhì)量流量檢測(cè)，不需要溫度和壓力補(bǔ)償，因此也正好符合使用熱式質(zhì)量氣體式流量計(jì)來對(duì)氦氣氣體進(jìn)行測(cè)量。
工采網(wǎng)提供的瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器 - MFS02對(duì)于大流量與快速響應(yīng)的應(yīng)用，CTA模式下有極高分辨率，測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍(10‘000‘000 : 1)，非旁路模式，對(duì)腐蝕性氣體和蒸氣具有高耐化學(xué)性不同的靈敏度與電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可供選擇支持用戶訂制適用于通過橋式電路測(cè)量極低流量與泄漏檢測(cè)應(yīng)用。
瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器MFS02 參數(shù)：
英國(guó)SST 氣體流量傳感器 - AFE-01由四個(gè)鉑金薄膜電阻構(gòu)成,阻抗低，加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個(gè)高阻抗電阻，用來檢測(cè)流速和流向，還有一個(gè)電阻用來檢測(cè)氣體的溫度，靠近加熱元件的兩個(gè)電阻連接成一個(gè)電橋，產(chǎn)生檢測(cè)流速和流向功能的一個(gè)輸出信號(hào)。在沒有流量的情況下，這兩個(gè)電阻達(dá)到同樣的加熱狀態(tài)。當(dāng)有流量存在時(shí)，其中一個(gè)電阻的溫度比另一個(gè)低很多，具體哪個(gè)電阻溫度變低由流向決定，溫度差可以測(cè)量得到，由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間非常短，因?yàn)樗臒豳|(zhì)量小。這種方式可以檢測(cè)到非常微小的流速變化。 為了得到更高的流動(dòng)速度， 溫度傳感器可以與恒溫風(fēng)速儀相連接。
英國(guó)SST 氣體流量傳感器AFE-01技術(shù)參數(shù):
測(cè)量原理：熱量原理
檢測(cè)量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的電路為例）
靈敏度：0.001 m/s
精 度：< 2%測(cè)量值（取決于電路和標(biāo)定）
響應(yīng)時(shí)間：T 63% < 0.5 S
溫度范圍：-20…… +150 °C
電氣連接：絕緣漆包銅線 (一般長(zhǎng)度25 mm)
加熱元件：RH (25°C) = 34□± 10%
檢測(cè)元件：Rs_i (25°C) = 425□ ± 10%
參考元件：RR (25°C) = 710□ ± 10%
供電電壓：一般為 2 …… 5 V（取決于氣體流速）
基片材料：低熱導(dǎo)陶瓷
總之，更高的參數(shù)需要客戶定制
英國(guó)SST 氣體流量傳感器AFE-01 優(yōu)勢(shì):
流向檢測(cè)
檢測(cè)小質(zhì)量物體的流動(dòng)
簡(jiǎn)單的信號(hào)處理電路和標(biāo)定
完全固定的機(jī)械元件
優(yōu)異的重復(fù)性
優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼
zui優(yōu)的性價(jià)比
滬公網(wǎng)安備31010802001143號(hào)
